超纯水全套设备是指用于生产超纯水的一整套设备，包括水处理设备、超纯水设备和配套设备。水处理设备主要包括反渗透设备、离子交换树脂设备等，用于对原水进行一系列的处理，去除其中的杂质、离子、微生物等。超纯水设备则包括超纯水制备设备、超纯水质量监测设备等，用于将处理后的水制备成超纯水，并确保超纯水的质量符合标准。配套设备则是指用于辅助上述设备正常运行的设备，例如控制系统、管道连接设备等。